半导体制造流程复杂，涉及大量电子化学品和特殊气体，发生的废气成分复杂、危害性强，若处理不当将直接影响晶圆生产的良率与产线稳定。面对这一行业难题，上海盛剑科技股份有限公司与上海交通大学紧密合作，正通过持续的科技创新，为半导体行业提供绿色解决方案。

谈到初始，企业创始人张伟明、汪哲在交大安泰经济与管理EMBA学习期间，系统构建了商业思维与资本运作能力，为企业发展奠定了坚实基础。这份联结并未止步于课堂，而是延伸至持续的技术探索：盛剑科技与交大机械与动力工程、集成电路等开展联合课题研究，以企业实际场景助力技术验证与转化。

针对半导体行业的特性，通过校企合作研发，盛剑科技开发了一系列高性能装备。自研的温控设备能对反应腔进行精准的温度控制，满足不同工艺流程温度的快速变换需求。真空设备将工艺废气抽离反应腔，发生、维持、控制满足工艺反应腔要求的真空环境。Local Scrubber设备对废气进行预处理后，通过通风管道系统将其输送至中央废气处理系统，集中处理后进行无害排放。

这种产教融合的模式也延伸至人才培养领域。盛剑科技积极参与上海市“阳光育人”计划，设立奖学金和专项基金，关注湖北籍本科生和少数民族学生成长与发展。此外，盛剑科技新加坡总部与安泰亚太中心紧密合作，将海外实战场景融入教学，实现了产教融合共同发展。

“绿色发展是高质量发展的底色，新质生产力本身就是绿色生产力。”企业相关负责人表示，当前，半导体行业存在高污染、高排放、高耗能等现象，绿色转型势在必行。同时，未来也将持续深化与交大安泰等高校的产学研合作，通过产品硬实力、战略软实力双管齐下，践行以绿色科技助力财产绿色发展的企业使命。（梁济舟）

(来源：人民网   责编：李昉、熊旭)